로봇트씰의 고기능화를 실현했습니다.

Rigaku 자기씰유닛은 클린/진공 로봇의 용도 다양화 고객사양에 적극적으로 대처합니다.

Rigaku의 높은 기술로 인해 FPD 기판및 반도체 웨이퍼의 대형화에 의한 위치결정 정밀도를 지원하는 코어 흔들림을 줄였습니다. 또한 차압 씰, 벨로우즈씰(직선왕복)과의 조합등 고객의 다양한 요구에 부응 합니다.

• 고객요구를 충족하는 선단 위치 오차 없는 정밀 가공의 멀티축 씰,고정밀 가공기술력이 연계된 Rigaku/X선 회절 장치 개발.
• 각씰사이에 자기장 간섭이 없는 독특한 자기회로가 멀티축 씰의소형화 제공.
• 강력한 자석과 폴 피스의 고정밀 가공 기술, 직경 100mm 이상의 대형 씰도 가능 합니다.
• 20kPa 이하 차압에도 견디는 평면의 방진씰도 가능 합니다.

Note

고온 활성가스에 견딜수 있는 자기씰을 제공합니다.

당사는 옛날부터 대형 CVD 장치 제조업체에 수많은 자기 씰-을 정식으로 주문 받아서 제공하고 있습니다. 그 경험에서 장시간의 연구와 테스트를 거듭 한 결과, 고온 에서도 거의 아웃 가스가 나오지 않는 새로운 자성 유체의 개발에 성공했습니다. 이 새로운 자성 유체와 자기 씰 구조 개량에 의해, CVD 장치 용으로 종래 불가능하다고 여겨져 있던 사양 조건에서의 긴 수명으로 성공한 자기 씰- 유닛을 제공합니다. 또한 정밀한 가공과 숙련 된 조립에 의해 얼룩이 없는 부드러운 회전 자기 씰-을 안정적으로 제공하고있고, 생성 막 두께의 균일화에 기여하고 있습니다.

CVD 장치에 적합한 자기씰

CVD 장치는 부식성 가스를 사용하실 경우가 많기 때문에 프로세스 측에 베어링이 없는 캔틸레버 FMB-C, 캔틸레버 F1B-C , 캔틸레버 F1T-C 를 권장합니다. 또한 프로세스에 따라 부품 소재까지 고려하므로 꼭 당사 전문가와 사전 협의 해 주시기 바랍니다.

대표적인 CVD 장치를위한 자기 씰

자장의 영향에 견디는 성능이 우수합니다

φ300mm 이상의 결정 덩어리를 늘리려면 MCZ 방식, 첨단 자기장 방식 등 강력한 자기장의 힘이 필요하기 때문에 그 때 사용되는 자석 씰-은 자기장에 영향을 받지 않는 것이 절대 조건이 되고 있습니다 . 자기장에 강한 리가꾸 독자적인 자기 씰- 구조는 SSi 연구소에서 φ400mm 잉-곳 인상에 기여한 것으로 증명되고 있습니다.

단결정 성장 장치에 적합한 자기 씰

단결정 인상 주입 장치에서 사용하실 경우에는 고객의 축에 씰-의 기능을 조합 시킨 표준 NFT-B 시리즈 와 표준 F1T-B 시리즈 , 권장합니다.

또한, 도가니와 리프트 장치를 지지하고 정밀하게 회전시키는 것도 가능한 자석 씰-도 제작 실적이 있습니다.

모든 사양에 대응하는 자기 씰을 목표로

활성 가스, 고온 용, 고속 회전, 플라즈마, 전극, 이온 빔, 강자 장, 누설 자속 등 에칭 장치에 사용되는 다양한 스펙과 가공 방법. 기존의 마그네틱 씰-은 불가능 하다고 했던, 그런 모든 영역을 클리어 할 수 있는 날을 목표로 리가꾸 자석 씰-은 새로운 도전을 계속하고 있습니다.

고속 회전이 필요한 MOCVD 시스템에 최적

조명의 광원으로 주목 받고있는 LED (Light Emitting Diode = 발광 다이오드)는 전기 에너지를 빛으로 바꾸는 반도체입니다. 긴수명 · 절전 · 높은 내구성 · 고휘도가 특징이며, 대형 디스플레이, 액정의 백라이트, 자동차 헤드 라이트, 조명 등 다양한 제품에 채택되어 급속히 보급되고 있습니다. LED 제조에 사파이어 등의 기판에 GaAs, GaP, GaN 등의 박막을 성장시킨 에피 택셜 웨이퍼가 필수적입니다. GaAs, GaP, GaN은 주로 MOCVD (유기 금속 기상 성장 법)으로 성막 합니다.

고속 회전, 고진공, 염화물 · 유기 금속 등의 활성 가스 분위기에 대응 가능한 자기씰-은 다양한 방식의 에피 택셜 성장 장치에 적합합니다.

에피 텍셜 성장에 대한 궁금한 사항은 아래 별도로 설명 해 놓았으니 참조 하시기 바랍니다.

에피 택셜 성장 장치에 적합한 자기 씰

축삽입 샤프트 타입의 마그네틱 씰-은 회전축에 고주파 코일 용 전극 등을 통과 시킬 수 있습니다. 표준 구조의 표준 F1T-B 시리즈 진공 측에 베어링을 배치하지 않은 캔틸레버 F1T-C 시리즈 중에서 선택할 수 있습니다.

또한 회전축에서 여러 계통의 가스를 도입하는 것이 가능한 가스 도입 유형의 자기 씰-등 특수 사양에 적극적으로 대응하고 있습니다.

에피택셜 성장이란

단결정 기판 위에 결정 방위가 갖추어 진 단결정 박막을 성장시키는 방법입니다. 

대표적인 기상 에피 택셜 성장 법으로 MOCVD 법, MBE 법, HVPE 법이 있습니다.

MOCVD 법

유기 금속 기상 성장 : Metal Organic Chemical Vapor Deposition

유기 금속 화합물 증기에서 결정을 성장시키는 방법입니다. (MOVPE법 이라고도 합니다).

LED를 구성하는 금속에 메틸기 (-CH3)를 추가하면, 상온에서 높은 증기압을 갖는 액체 또는 고체유기 금속 재료를 얻을 수 있습니다. 이 유기 금속 재료 증기와 수소 가스를 가열 한 기판에 분사 열분해 시켜 반도체 결정 막을 만듭니다. 

MBE 법 

분자선 결정 성장 법 : Molecular Beam Epitaxy

초고 진공 상태에서 재료를 가열 증발시켜 증발 분자의 비산 방향을 모았다가 제트 스트림 (분자선)을 가열 한 기판에 조사하여 결정 성장을 하는 방법입니다.

HVPE 법 

하이드 라이드 기상 성장 법 : Hydride Vapor Phase Epitaxy

고온에서 기체의 염화물 가스에서 결정을 성장시키는 방법입니다. LED를 구성하는 금속 재료의 염화물 가스 및 비금속 재료의 수소 가스를 기판상에서 반응시켜 반도체 결정을 성막합니다.

중심 흔들림을 최소한으로 억제하며 고속 회전을 전달합니다

리가꾸 독자적인 기술을 사용함으로써 공진을 억제하며 고속 회전을 실현했습니다. 고온, 고진공 · 고하중의 사양에서도 중심 흔들림이 적고 수명이 깁니다. 모든 종류의 이온 주입 장치 용 자기 씰- 유닛의 제작이 가능합니다.

이온 주입 장치에 적합한 자기 씰

이온 주입 장치는 고속 회전으로 사용하실 경우가 많기 때문에 진공 측에 베어링이 없는 캔틸레버 FMB-C, 시리즈 캔틸레버 F1B-C 시리즈 , 캔틸레버 F1T-C 를 권장합니다. 또한 고속 회전시의 발열을 억제하기 위해 수냉식 타입을 검토해 주시고 당사의 전문가와 상담을 해 주시기 바랍니다.

선정시에는 사용 온도 범위 및 사용 가스 등에 주의하시기 바랍니다. 표준품으로 대응할수 없는 경우는 원하는 형상과 하중 조건 등을 준비하여 당사에 연락 주시면 신속한 답변 드리겠습니다.

누설 자속이 적은 자기 씰-을 제공합니다

태양 전지 · 터치 패널 · 평판 디스플레이 제조에 필요한 투명 도전 막 · 반사 방지막을 형성하는 스퍼터링 장치, 리가꾸 자석 씰-은 많은 실적을 가지고 있습니다.

대향 타겟 법, 이온빔 법, 마그네트론 법, ECR 법, 반응성 스퍼터링 등, 다양한 방식의 스퍼터링 장치에 대응 가능합니다.

자석을 사용하는 자성 유체 씰-에서는 불가피 하다고 생각하는 자속누설이 있지만 리가꾸 자기씰- 은 독자적인 구조에 의해서 거의 누설 자기장이 없습니다. 케이스에서 10mm 떨어진 위치에서는 지면의 자기정도 이기때문에 플라즈마 이온이나 전자에 미치는 영향을 걱정하지 않고 안심하고 사용하실 수 있습니다.

스퍼터링 장치에 적합한 자기 씰

"금속 오염을 방지하기 위해 진공 측에 베어링을 배치하지 않은 캔틸레버 FMB-C시리즈

캔틸레버 F1B-C 시리즈 를 추천합니다. 또한 축 삽입 타입의 마그네틱 씰은 회전축에 전극 및 냉각기구 등을 통과시킬 수 있습니다. 캔틸레버 F1T-C 시리즈 를 추천합니다.

선정시에는 사용 온도 범위 및 하중 등에 주의하시기 바랍니다.

특수 사양을 희망하시는 경우는 자기 씰- 문의 양식 으로 문의하시기 바랍니다.

샘플의 흡착에 최적

웨이퍼나 액정 유리 반송 시 또는 스핀 코터 등의 순간에서의 고속 회전 시 등, 샘플에 긁힘이 없도록 제대로 된 흡착이 가능합니다. 자기 씰-을 통해 진공 흡입함으로써 불필요한 공간을 없애고 장치 전체의 소형화를 할 수 있는 장점 외에도 안정된 회전 성능을 발휘 할 수 있기 때문에 진공 척에 대한 자기 씰-의 수요가 점차 증가하고 있습니다.

진공 척 채용을 검토하는 고객

진공 척 용 마그네틱 씰-은 맞춤 제품입니다.

검토 고객은 대상물, 사용 환경, 사용 온도 범위, 회전 수, 원하는 형상과 하중 조건, 필요한 공차 등을 준비하여 당사에 연락 주시면 신속한 답변 드립니다.

진공 및 가압을 동시 사용하는 진공 열처리로 외, 다양한 용도의 로

철강 및 비철 재료에 대한 열처리 중 감압 한 분위기에서 실시하는 「진공 열처리 "품질 · 환경 적 효과가 기대되는 기술입니다. 진공 열처리로에서 '담금질'이라는 처리는 감압 오븐에서 재료를 고온으로 유지 한 후 고압의 가스를 순환시켜 급속하게 냉각하는 공정을 말합니다. 이 가압 가스를 순환시키기 위한 팬의 회전 도입에 리가꾸 자기 씰-은 다수 채용되어 있습니다. 강도가 높은 리가꾸의 독자적인 자기 씰 구조로써 높은 하중 · 높은 토크 전달이 가능합니다. 진공 열처리로에서 '담금질'이라는 처리는 감압 오븐에서 재료를 고온으로 유지 한 후 고압의 가스를 순환시켜 급속하게 냉각하는 공정을 말합니다.

고압 용 자기씰-의 제작 예

리가꾸 자기 씰-은 진공 열처리로, 소결로, 탄소주입로 · 진흙화로 등 다양한 용도의 산업용로 로써 실행 중입니다. 아래 그림은 최고 0.9MPa의 압력에 견딜 자기 씰-의 제작 예입니다.

아래 그림은 최고 0.9MPa의 압력에 견딜 자기 씰-의 제작 예입니다.

고압로 사용을 검토하시는 고객

고압 형 자기씰-은 주문 제-작 제품입니다. 검토 고객께서는 가압압력, 환경, 온도범위, 회전수,하중 등의 조건들을 준비하여 제품문의 양식에 작성하여 주시면 신속한 상담을 준비 하겠습니다.

물 처리를 통해 환경 보호에 기여하고 있습니다

리가꾸 자석 자기씰-은 생활 배수 및 공장 폐수를 처리하는 과정에서 발생하는 ""오염""를 처리하는 폐수정수장치 의 축 씰-에 채용 되고 있습니다.

자기 씰-은 슬러지 중의 유기물을 발효시키는 과정에서 발생하는 메탄 및 독성 황화수소 등의 가스가 외부로 유출되는 것을 방지하고 있습니다.

또한 기존의 물씰- 방법과 비교하여 유지 보수가 거의 필요 없는 장점이 있습니다.

다양한 교반조용 축 씰

자기 씰-은 감압 가압 모두 환경에 대응하고, 누설량은 거의 제로입니다. (He 리크 량 : 9.9 × 10 -11 Pa-m 3 / sec 이하)압력 반응기.교반 조 및 진공 믹서 , 진공 탈 포기 의 축 밀봉에도 사용할 수 있습니다. 메카니컬 씰이나 그랜드 패킹처럼 마모 가루가 발생하지 않기 때문에 제조물을 오염시킬 염려가 없습니다. 더구나 씰- 액의 공급과 설치 나사 조임 등의 보수 작업이 필요하지 않으므로 최적의 용품입니다. 검토 고객은 사용 환경 (압력 가스) 사용 온도 범위, 속도, 하중 조건 등을 작성하셔서 연락 해 주시면 신속한 대응 해 드리겠습니다.

X 선을 이용하여 물질의 결정 구조 등을 조사하는 분석기술에 기여하고 있습니다

X 선 발생 장치는 높은 진공 상태에서 고속 회전하는 대상에 열 전자를 충돌시켜 X 선을 발생시키고 있습니다. 이 장치에 리가꾸 자기 씰-이 사용되고 있습니다

Contributing to nanotechnology

아크 이온 플레이 팅 방법은 PVD의 일종이며, 대상을 아크 방전에 의해 증발 및 이온화시켜 성막하는 방법입니다. 아크 방전 특성에 따라 치밀하고 밀착력이 좋은 피막을 고속으로 형성 할 수 있기 때문에 양산 성 및 프로세스 안정성이 우수합니다. 따라서 절삭 공구의 경질 내마모성 피막 코팅과 자동차 부품에 대한 낮은 마찰 계수, 내마모성 피막 코팅 양산 용 장비가 도입되고 있습니다. 분진이없이 깨끗하고 수명이 긴 리가꾸 자석 씰-은 아크 이온 플레이 팅 장치의 테이블과 타-킷의 회전에 최적합 합니다.

아크 이온 플레이팅 장치에 적합한 자기 씰

축삽입형 샤프트 타입의 마그네틱 씰-은 회전축에 전극 및 냉각기구 등을 통과시킬 수 있습니다.

표준 구조의 표준 F1T-B 시리즈 진공 측에 베어링을 배치하지 않은 캔틸레버 F1T-C 시리즈 를 권장합니다.

선정시에는 사용 온도 범위 및 하중 등에 주의하시기 바랍니다. 

특수 사양을 희망하시는 경우는 자기 씰의 제품문의 양식 에 기입하시고 문의해 주시면 보다 신속 정확한 대응을 해 드릴 수 있습니다.