X-ray 형광분광분석기(X-ray flourescence spectrometry, XRF)의 원리 및 용도

X-ray 형광분석법(XRF)은 X-ray tube 에서 만들어진 X-ray beam(연속 X-ray)으로 분석 시료 (모든종류의 고체류, 분말류, 용액류및 대기중 부유물, 등)를 여기(excitation)시켜서, 시료를 구성하고 있는 원소들에서 발생한 원소 특유의 파장을 갖는 X-ray(형광 X-ray)를 측정한후 측정되어 나온 원소별 특성 파장을 이용하여 시료를 구성하는 원소들을 알아내고(정성분석) 또한 그 원소 파장위치에서 강도를 측정함으로서 원소함량을 정확하게(정량분석)분석할 수있다.

XRF는 원소의 파장을 이용하여 분석하는 타입( Wavelength dispersive x-ray, WDX)과 원소의 에너지를 이용하여 분석하는 타입(Energy dispersive x-ray,EDX)로 분류할수 있으며 두종류 모두 산업현장에서 각종 시료의 정성－정량분석에 유용하게 사용되고 있다.

XRF는 시료를 손상시키지 않은 비파괴 분석법으로, 시료분석 범위(4Be~92U)가 넓고, 짧은 시간에 다양한 형태의 시료에서 정밀도와 정확도가 높고 재현성있는 분석결과를 얻을수있다.

간단한 WDX 와 EDX 분류 도표